Egykristályos növekedési kemence
Alkalmazás
Egykristályos kemencét gyakran használnak szilícium, zafír vagy germánium félvezető bugák termesztésére.A tipikus elrendezések függőleges kristálylehúzók elölről nyíló ajtóval.
Előnyök
A kritikus növekedéshez szükséges két legfontosabb paramétert tudjuk biztosítani: a stabilitást és a kontrollt.Mindkettőre szükség van a konzisztencia, az ismételhetőség és az egységesség eléréséhez – ez a kulcs a sikeres kristálynövekedéshez a laboratóriumban és a gyártásban.
1. A stabilitás ismert és állandó környezetet biztosít a kristálytermesztő számára az igényes kristálynövekedéshez.A stabilitás egyenletes, szigorúan meghatározott hőmérsékleteket és termikus gradienseket biztosít a konzisztens olvadások és zónafinomítás érdekében.A stabilitás jól szabályozott gáz- vagy vákuumkörnyezetet igényel.A kristálynövekedés stabilitása sima, rendkívül állandó, vibrációmentes mozgásokat követel meg nagy és dinamikus tartományokkal, programozható első és második deriváltokkal és többtengelyes konfigurációkkal – mégis mindent ellenőrizni kell.
2. A vezérlés az automatikus számítógépes rendszer interfészünkön keresztül történik, amely pontosan ott tartja a hőmérsékletet, ahol beállították, és folyamatosan gyorsan és zökkenőmentesen változtat az új értékekre minimális túllövés mellett.A mozgásrendszernek olyan húzási sebességet kell biztosítania, amely időben és térben is rendkívül konzisztens pillanatról pillanatra és hétről hétre.A pozíció pontosságát a teljes húzási ciklus alatt fenn kell tartani, hogy a kristálynövekedési rendszer következetes és megismételhető eredményeit biztosítsuk.
3. Komplett, integrált precíziós kristálytermesztő berendezést biztosítautomatikus átmérőszabályozással, élvonalbeli tégelytechnológiákkal.